Detail Publikasi
Distance sensor with a tunable aperture actuated by thermal expansion of silicon chevron beams
Journal of Micromechanics and Microengineering
Penerbit
IOP Publishing Ltd
Jenis Publikasi
Jurnal internasional bereputasi
Tanggal Terbit
7 Mei 2021
Kategori Kegiatan
Hasil penelitian/pemikiran yang dipublikasikan dalam bentuk jurnal internasional bereputasi
Volume
31
Nomor
6
Halaman
7